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〈要超車台積電，三星宣布採用 EUV 技術 7 奈米製程完成驗證〉〈TechNews〉〈2018-06-15〉
本帖最後由 iiifgh 於 2018-6-15 10:28 PM 編輯要超車台積電，三星宣布採用 EUV 技術 7 奈米製程完成驗證
科技新報 TechNews-作者 Atkinson | 發布日期 2018 年 06 月 15 日 17:00 |
在晶圓代工市場，台積電與三星的競爭始終是大家關心的戲碼。三星雖然有高通等 VIP 客戶，但在 7 奈米製程節點，高通預計會轉投台積電，三星要想受更多客戶的青睞，只能從製程技術著手了。這也是三星為什麼跳過非 EUV 技術的 7 奈米製程，直接上 7 奈米 LPP EUV 製程技術的原因。如今，三星終於公布了 7 奈米 LPP 製程已完成新思科技（Synopsys）物理認證，意味著 7 奈米 EUV 製程將可全球量產了。
目前全球前幾大晶圓代工廠商，英特爾 10 奈米製程還沒搞定，距離 7 奈米製程最遙遠。台積電 7 奈米製程量產比較順利，會有蘋果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客戶陸續流片、量產。台積電第一代 7 奈米製程，使用的還是傳統多重曝光技術，必須到 2019 年第 2 代 7 奈米製程才會使用 EUV 光刻技術。
格羅方德也走與台積電相似路線，預計 2018 年量產 7 奈米 DUV 製程還是傳統的深紫外光刻技術。對此，號稱頻率可達 5GHz 的 AMD 7 奈米 Zen 2 處理器會使用格羅方德的 7 奈米製程技術，2019 年初問世，2020 年再下一代才是 7 奈米 EUV 製程技術。
相對其他競爭對手，三星在 EUV 技術最積極。三星直接跳過第一代非 EUV 光刻 7 奈米製程，直接使用加入 EUV 技術的 7 奈米 LPP 製程，預定 2018 下半年正式量產。日前，新思科技與三星已聯合宣布，三星使用的 7 奈米 LPP 製程技術完成 IC 驗證器的認證。
三星完成這次認證之後，7 奈米 LPP 製程就可立即提供認證的技術資料，包括 DRC 設計規則檢查、LVS 布局與原理圖、金屬填充技術檔等予相關客戶，意味著三星的 7 奈米 LPP 製程正式進入量產階段。
目前 EUV 光刻技術競爭激烈，各家大廠搶 EUV 光刻機也成為重要目標之一。根據之前消息，ASML 的 EUV 光刻機，台積電訂購了約 10 台，三星訂購約 6 台，英特爾訂購 3 台，而格羅方德的 EUV 訂單數量不詳，中國中芯國際也訂了 1 台 EUV 光刻機，將用於 7 奈米製程技術研究，預計 2019 年初交貨。各家廠商都有 EUV 光刻機的情況下，似乎未來 7 奈米節點要勝出，就必須比較各家的技術與管理能力了。
（首圖來源：shutterstock ）
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